Intesa tra Keithley Instruments e Stratosphere Solutions per consentire la Caratterizzazione di Processi Avanzati con Geometrie Uguali o Inferiori a 65 nm

Intesa tra Keithley Instruments e Stratosphere Solutions per consentire la Caratterizzazione di Processi Avanzati con Geometrie Uguali o Inferiori a 65 nm

Cleveland, Ohio, Febbraio 2008 * * * Keithley Instruments Inc. (NYSE: KEY), società attivamente impegnata nello sviluppo di soluzioni adatte a soddisfare le nuove esigenze di misura, ha annunciato di aver stipulato un accordo di cooperazione con Stratosphere Solutions, Inc., azienda con sede a Sunnyvale (CA) specializzata nella realizzazione di soluzioni innovative per il miglioramento della resa parametrica destinate ai produttori di circuiti integrati. La collaborazione tra le due società riguarda lo sviluppo e il monitoraggio di processi avanzati mediante la tecnologia TEG (Test Element Group) a matrice.

Le variazioni di processo di tipo parametrico nel caso di geometrie inferiori o uguali a 65 nm sollevano problemi di notevole entità per i progettisti e gli ingegneri di collaudo, in considerazione del fatto che l’attenzione dei produttori di circuiti integrati è rivolta alla realizzazione di dispositivi di dimensioni sempre minori. Nell’industria dei semiconduttori la necessità di monitorare processi produttivi estremamente sensibili per ottimizzare le prestazioni dei circuiti integrati senza penalizzare la resa rappresenta un elemento sempre più critico.

Keithley Instruments e Stratosphere Solutions collaboreranno per fornire ai reciproci clienti un’unica infrastruttura per la caratterizzazione che permetta di effettuare misure parametriche affidabili contraddistinte da elevato throughput in presenza di alti volumi utilizzando i tester parametrici della serie S600 di Keithley Instruments e la piattaforma IP StratoPro™ in modo da soddisfare le esigenze dei clienti stessi.

“Nel momento in cui l’evoluzione nel settore dei semiconduttori sta spingendo il livello di miniaturizzazione verso il mondo delle nanotecnologie – ha detto Mark Hoersten, vice president per le attività di business management di Keithley Instruments – la tecnologia di misura non solo deve mantenere il passo con questa evoluzione, ma anche anticipare le esigenze dei costruttori per consentire loro di realizzare e collaudare questi dispositivi. In qualità di azienda leader nel settore del test per semiconduttori, Keithley è fortemente impegnata nella ricerca di collaborazioni con aziende di primo piano finalizzate allo sviluppo di soluzioni innovative destinate a soddisfare le richieste delle applicazioni più avanzate”.

“Siamo particolarmente soddisfatti di cooperare con una realtà come Keithley per fornire soluzioni interoperabili e innovative capaci di connettere tra loro i migliori tool che rappresentano un elemento critico per l’industria dei semiconduttori” - ha detto Prashant Maniar, chief strategy officer di Stratosphere Solutions, Inc.. “Nel momento in cui i processi si spostano verso geometrie di 45 nm o inferiori, un numero sempre maggiore di clienti deve affrontare il problema di aumentare la resa parametrica. La nostra soluzione ampiamente collaudata e caratterizzata da un’integrazione particolarmente spinta rappresenta la chiave di volta che permette ai clienti di ottenere una resa parametrica maggiore, ridurre i costi legati all’incremento di tale resa, diminuire i tempi di collaudo e migliorare il ritorno dell’investimento”.

I tester parametrici della serie S600 di Keithely Instruments permettono alle fabbriche e alle fonderie di wafer di ridurre i costi di collaudo grazie alla loro capacità di adattarsi alle variazioni delle tecnologie dei dispositivi. La possibilità di un loro utilizzo come strumenti per il test in continua (DC), RF e TEG a matrice consente il riuso del capitale investito in apparecchiature, con conseguente diminuzione dei costi di collaudo.

Il più recente componente della serie, il mod. S680, si distingue per la capacità di collaudo parallelo, l’elevata sensibilità in continua, la risoluzione a livello di fA e la possibilità di effettuare misure di parametri s in RF fino a 40 GHz – il tutto in un unico strumento. Questo sistema garantisce il più elevato throughput e il più ridotto costo di possesso per l’esecuzione di misure relative a processi in tecnologia da 65 nm e inferiori.

Le strutture TEG di tipo a matrice (Array TEG), come quelle della suite StratoPro, stanno divenendo sempre più elementi critici per la caratterizzazione di processi con geometrie uguali o inferiori a 65 nm. Le più importanti aziende operanti nel settore dei semiconduttori sono sempre più interessate a disporre di un prodotto che rappresenti uno standard “de facto”, come appunto StratoPro, capace di garantire livelli di densità migliaia di volte superiori a parità di area di silicio, misure di elevata risoluzione e migliore integrità di collaudo complessiva.

StratoPro™, una piattaforma IP di silicio basata su PAM (Parametric ActiveMatrix™) permette sia ai costruttori sia ai clienti che adottano un modello fab-lite di eseguire la caratterizzazione con elevato livello di accuratezza, mediante misure dei parametri elettrici e della loro variabilità all’interno del die. Tra le ragioni che spingono gli utenti ad adottare StratoPro nella versione per geometrie a 65 e a 45 nm si possono annoverare la densità della struttura di test superiore di un fattore compreso tra 10 e 1000, la possibilità di effettuare misure con risoluzione molto alta e i miglioramenti in termini di tempo di collaudo quando accoppiata con la piattaforma di test di Keithley. Le fabbriche di semiconduttori utilizzano StratoPro™ nelle prime fasi di sviluppo del processo, durante la fase di incremento della resa e per il monitoraggio della produzione. I clienti che adottano un modello fab-lite impiegano questa soluzione per caratterizzare le variazioni di processo imputabili al tipo di progettazione.

Ulteriori informazioni sui tester parametrici o su qualsiasi altra apparecchiatura per il collaudo dei semiconduttori di Keithley Instruments sono disponibili all’indirizzo: www.keithley.com/products/semiconductor or contact the company at: www.keithley.com

Note per l’editore

Stratosphere Solutions, Inc. ha messo a punto un’innovativa soluzione per l’incremento della resa parametrica che comprende una piattaforma IP collaudata su silicio e applicazioni di modellazione che permettono agli utenti di ridurre l’impatto della variabilità sulla resa parametrica e sulle prestazioni. I clienti della società sono le più importanti aziende di semiconduttori che realizzano prodotti utilizzando processi con geometrie comprese tra 130 e 45 nm. Ulteriori informazioni sono disponibili all’indirizzo: www.stratosol.com.

Note sulla società

Con un’esperienza di 60 anni nel campo della strumentazione di misura, Keithely Instruments è diventata un’azienda leader a livello mondiale nella realizzazione di sistemi e strumenti di collaudo elettrici dalla continua alla radiofrequenza. I prodotti della società sono in grado di soddisfare le nuove esigenze di misura nei settori del collaudo di produzione, monitoraggio di processo, sviluppo di prodotti e ricerca. Gli utilizzatori sono scienziati e ingegneri operanti nel settore elettronico coinvolti in attività quali ricerca nel campo dei materiali avanzati, caratterizzazione di wafer e di dispositivi a semiconduttore e produzione di prodotti finali come assemblaggi di componenti elettronici o dispositivi wireless portatili. Oltre a strumenti decisamente all’avanguardia, Keithley mette a disposizione una serie di servizi di supporto qualificati che permettono ai clienti di migliorare qualità, throughput e rese dei loro prodotti. Ulteriori informazioni: www.keithley.com.

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