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Sistema per il Test di Wafer da 200 mm per Tecnologie di Processo da 130 nm

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Cleveland, Ohio, Agosto 2004 - Keithley Instruments Inc. (NYSE: KEY), azienda leader nello sviluppo di soluzioni atte a soddisfare esigenze di misura sempre più complesse, ha annunciato l'introduzione di un nuovo sistema di test parametrico "pronto all'uso" che non ha rivali in termini di costo per pin e di rapporto prezzo/prestazioni. Il sistema di test

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Sistema per il Test di Wafer da 200 mm per Tecnologie di Processo da 130 nm

Cleveland, Ohio, Agosto 2004 - Keithley Instruments Inc. (NYSE: KEY), azienda leader nello sviluppo di soluzioni atte a soddisfare esigenze di misura sempre più complesse, ha annunciato l'introduzione di un nuovo sistema di test parametrico "pronto all'uso" che non ha rivali in termini di costo per pin e di rapporto prezzo/prestazioni. Il sistema di test parametrico mod. S470 è ottimizzato per il test in produzione di wafer da 200 mm sui quali vengono realizzati dispositivi CMOS con processi da 130 nm (e inferiori).

Elevato throughput, accuratezza e flessibilità
Il mod. S470 è in grado di eseguire in maniera rapida e precisa una vasta gamma di misure I-V e C-V su integrati CMOS, bipolari e all'arseniuro di gallio (GaAs), compresi IC per applicazioni automotive e telecom, LCD e molti altri. L'estrema facilità d'uso del sistema permette di semplificare e accelerare la programmazione dei test e tutte le operazioni che vengono svolte quotidianamente.

Design collaudato
Il mod. S470 è stato realizzato sfruttando il know how acquisito nello sviluppo dei tester basati su UNIX della famiglia S400 - apparecchiature affidabili e collaudate presenti in centinaia di esemplari nelle fabbriche di tutto il mondo - e può contare sulla disponibilità di infrastrutture di ricambio e di supporto qualificato a livello mondiale. Il software applicativo fornito a corredo è la più recente versione di Keithley Test Environment (KTE release 5.1), dotato di un programma di controllo (test executive) e di un'interfaccia operatore comuni agli altri modelli di tester delle serie S400 e S600. Ciò, oltre a semplificare il trasferimento dei programmi di test, permette di effettuare regolari aggiornamenti del sistema, così da ottimizzare il riutilizzo delle componenti hardware e software. Per il mod. S470 la garanzia prevista è di un anno. Tra le varie opzioni disponibili si possono annoverare l'opzione RF fino a 40 GHz, il software per il test adattativo che automatizza la diagnostica di processo di primo livello e l'interfaccia SECS/GEM per semplificare l'integrazione del tester in un contesto di automazione di fabbrica.

Considerazioni applicative
I tester parametrici della serie S400 di Keithley Instruments sono stati ampiamente utilizzati dall'industria dei semiconduttori a partire dagli anni '80; Keithley si è costantemente impegnata nella messa a punto di aggiornamenti che permettessero l'adeguamento ai progressi tecnologici e ai requisiti dei clienti in modo da assicurare il riutilizzo delle apparecchiature il più a lungo possibile. Con una risoluzione in corrente migliore di 10 fA, il tester mod. S470 rappresenta una scelta economica per il collaudo dei più diffusi tipi di circuiti integrati che vengono attualmente prodotti in volumi. Esso è in grado di assicurare misure accurate e ripetibili, prive di errori e garantire un elevato throughput.

KTE release 5.1 è il software più semplice da utilizzare nelle applicazioni di test parametrico che integra strumenti potenti ma non complessi per la modifica e lo sviluppo del codice di test, numerose funzionalità di misura e strumenti avanzati per l'analisi dei dati che dan vita a una soluzione completa per il test parametrico.

Caratteristiche del prodotto
Il sistema mod. S470 è disponibile in configurazione a 24 pin e comprende i cablaggi e gli adattatori per le sonde, oltre alle connessioni Kelvin e ai circuiti di guardia (guarding) agli aghi delle sonde. Il sistema base risulta composto da quattro unità SMU (Source-Measure Unit) I-V in c.c., un misuratore di conduttanza/capacità da 100 kHz, un picoamperometro e un'unità di riferimento di sistema dotata di software di diagnostica e di calibrazione. Il picoamperometro è indirizzabile su tutti i pin e fornisce una risoluzione di misura migliore di 10 fA. Le schede di commutazione a matrici d'aria a bassa corrente ed elevata velocità sono simili alle schede delle famiglie 707A/7174A di Keithley e garantiscono tempi di assestamento (settling time) ridotti. Di conseguenza diventa possibile effettuare misure con elevata integrità alle velocità richiesta dal processo produttivo. Il software KTE release 5.1 mette a disposizione una piattaforma affidabile per lo sviluppo del test, la scelta dei parametri di collaudo (test recipe) e l'esecuzione del test. Sono altresì disponibili librerie di misura per componenti standard CMOS e BiCMOS, mentre è possibile generare nuovi algoritmi grazie alla presenza di un compilatore per il linguaggio C. Come accade per i più recenti tester della serie S400, il software KTE gira su un controllore Sun che opera in ambiente Unix Solaris. Tutta la documentazione relativa al software di sistema è disponibile su CD-ROM: inoltre è prevista l'installazione on site e la garanzia di un anno. Le opzioni del sistema comprendono:

  • Fino a 4 unità SMU (Source-measure units) I-V in c.c.
  • Possibilità di espansione a 36 o 48 pin
  • Opzione RF per misure dei parametri s non estrapolati a 40 GHz
  • Misuratore di capacità ad alta velocità (1 MHz) o multifrequenza per eseguire misure su dielettrici avanzati
  • Generatore di tensione a impulsi a media corrente per il collaudo di dispositivi a pompa di carica e la misura di correnti fino a 2 A
  • Microvoltmetro per monitorare processi in rame
  • Generatore di impulsi (fino a un massimo di due, ognuno a singolo o doppio canale)
  • Contatore di frequenza o analizzatore di spettro per misure dell'oscillatore d'anello
  • Opzione KRM (Keithley Recipe Manager) per automatizzare il controllo della versione e trasferire in produzione solo le sequenze di test approvate con tracciabilità delle prescrizioni (recipe) conforme alle normative ISO-9001
  • Test adattativo per automatizzare la diagnostica di processo di primo livello

E' possibile consultare la società per avere una quotazione del sistema in relazioni alle opzioni scelte e per avere informazioni circa la disponibilità di aggiornamenti per i sistemi della serie S400. Ulteriori informazioni sul sistema di test parametrico mod. S470 o su qualsiasi altra soluzione per il collaudo di semiconduttori e possibile visitare il sito della società all'indirizzo: www.keithley.com

Note sulla società Keithley
Con un'esperienza di oltre 50 anni nel campo della strumentazione di misura, Keithely Instruments è diventata un'azienda leader a livello mondiale nella realizzazione di sistemi e strumenti di collaudo elettrici - dalla continua alla radiofrequenza - destinati a soddisfare le esigenze dei costruttori di dispositivi elettronici nei settori del collaudo di produzione, monitoraggio di processo, sviluppo di nuovi prodotti e ricerca. Sfruttando le competenze acquisite nello sviluppo di soluzioni di misura destinate al mondo della ricerca, Keithhley Instruments ha acquisito un ruolo di leadership per quanto riguarda la tecnologia dei collaudi in produzione per i settori dei semiconduttori, dispositivi wireless, componenti optoelettronici e altri segmenti dell'industria elettronica di precisione.Oltre a strumenti d'avanguardia, Keithley mette a disposizione una serie di servizi di supporto qualificati che permettono ai clienti di migliorare qualità, throughput e rese dei loro prodotti.


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Ultima modifica 2004-10-19